1. Viên chức ngoại giao
Tại Điều 31 Công ước Viên của Liên hợp quốc về quan hệ ngoại giao năm 1961, viên chức ngoại giao được hưởng quyền miễn trừ xét xử về hình sự của nước tiếp nhận. Hay theo quy định tại khoản 1 Điều 12 Pháp lệnh về quyền ưu đãi, miễn trừ dành cho cơ quan đại diện ngoại giao, cơ quan lãnh sự và cơ quan đại diện của tổ chức quốc tế tại Việt Nam năm 1993: Viên chức ngoại giao được hưởng quyền miễn trừ xét xử về hình sự tại Việt Nam. Nhưng nếu nước cử từ bỏ một cách rõ ràng quyền miễn trừ này đối với viên chức ngoại giao thì họ có thể vẫn bị xét xử về hình sự. Viên chức ngoại giao được hưởng quyền miễn trừ xét xử về hình sự ở nhận đại diện một cách tuyệt đối và quyền này chỉ được nước cử đại diện có quyền khước từ.
2. Các thành viên gia đình của viên chức ngoại giao
Tại Điều 37 Công ước Viên của Liên hợp quốc về quan hệ ngoại giao năm 1961, các thành viên gia đình của viên chức ngoại giao cùng sống chung với người đó, nếu không phải là công dân của nước tiếp nhận thì được hưởng những quyền ưu đãi và miễn trừ, gồm: quyền bất khả xâm phạm về thân thể; quyền bất khả xâm phạm về nơi ở, tài liệu, thư tín, tài sản và phương tiện đi lại; quyền miễn trừ xét xử về hình sự, dân sự và xử phạt vi phạm hành chính; quyền được miễn thuế và lệ phí của nhà nước; quyền ưu đãi và miễn trừ hải quan…
3. Nhân viên hành chính kỹ thuật và thành viên gia đình của họ
Điều 37 Công ước Viên của Liên hợp quốc về quan hệ ngoại giao năm 1961 hay tại Điều 17 Pháp lệnh về quyền ưu đãi, miễn trừ dành cho cơ quan đại diện ngoại giao, cơ quan lãnh sự và cơ quan đại diện của tổ chức quốc tế tại Việt Nam năm 1993 thì các nhân viên hành chính và kỹ thuật của cơ quan đại diện cũng như các thành viên gia đình cùng sống chung với họ, nếu không phải là công dân Nước tiếp nhận hoặc không có nơi cư trú thường xuyên ở nước này, được hưởng quyền ưu đãi và miễn trừ sau: quyền bất khả xâm phạm về thân thể; quyền bất khả xâm phạm về nơi ở, tài liệu, thư tín, tài sản và phương tiện đi lại; quyền miễn trừ xét xử về hình sự, dân sự và xử phạt vi phạm hành chính; quyền miễn thực hiện chế độ bảo hiểm ở nước tiếp nhận đối với các công việc phục vụ cho nước cử đi; quyền được miễn thuế và lệ phí của nhà nước;…
4. Viên chức lãnh sự và nhân viên lãnh sự
Căn cứ vào Điều 28 Pháp lệnh về quyền ưu đãi, miễn trừ dành cho cơ quan đại diện ngoại giao, cơ quan lãnh sự và cơ quan đại diện của tổ chức quốc tế tại Việt Nam năm 1993: Viên chức lãnh sự và nhân viên lãnh sự khi thực hiện chức năng của mình được hưởng quyền miễn trừ xét xử về hình sự trừ trường hợp phạm tội nghiêm trọng.
Trong trường hợp được tiến hành các hoạt động tố tụng hình sự đối với viên chức lãnh sự thì viên chức lãnh sự phải có mặt theo yêu cầu của cơ quan Nhà nước có thẩm quyền của Việt Nam. Việc tiến hành các hoạt động tố tụng hình sự được thực hiện dựa trên sự tôn trọng cương vị chính thức của viên chức lãnh sự và ít gây cản trở cho việc thực hiện chức năng lãnh sự của họ. Nếu phải áp dụng biện pháp tạm giữ hoặc tạm giam thì việc tiến hành các hoạt động tố tụng đối với viên chức lãnh sự đó phải được tiến hành trong thời gian sớm nhất.
Ngoài ra, đối với nhân viên phục vụ của cơ quan đại diện ngoại giao không phải là công dân nước tiếp nhận hoặc không có nơi cư trú thường xuyên ở nước này được hưởng những quyền miễn trừ đối với những hành vi trong khi thi hành chức năng của họ. Và những người phục vụ riêng cho các thành viên của cơ quan đại diện không phải là công dân của nước tiếp nhận hoặc không có nơi cư trú thường xuyên ở nước này thì sẽ được hưởng các quyền ưu đãi và miễn trừ trong phạm vi được nước tiếp nhận cho phép.
